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2 天之前 · 专利摘要显示,本申请涉及一种镀膜设备及其掩膜载板,掩膜载板包括多个载料框架,每个载料框架均设有矩形镂空区域以及环绕矩形镂空区域的台阶槽和真空管路,台阶槽具有用于承接硅片的承接面以及贯穿承接面的吸附孔,吸附孔与真空管路相连通,以在真空管路连接真空泵进行抽真空时,吸附
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