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2024年10月9日 · 硅烷法可以分为两类,较早出现的是硅烷西门子法(Silane Siemens),即用硅烷(SiH4)而非TCS作为CVD还原炉的原料,通过硅烷的热分解和气相沉积来生产高纯度多晶硅棒料,REC旗下的REC Silicon公司采用过此方法生产电子级多晶硅;
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