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2021年10月19日 · 本专利由常州亿晶光电科技有限公司申请,2022-03-15公开,本实用新型涉及电池片生产设备技术领域,尤其是涉及一种用于太阳能电池管式ALD沉积用铝舟,包括两个端板以及固定在两个端板之间的左定杆组、右定杆组与若干中间杆组;左定杆组与位于最高左侧的专利查询、专利下载就上专利顾如
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