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异质结PECVD工艺在半导体制造中有广泛的应用,具体包括以下几个方面: 9.异质结器件制造:异质结器件如晶体管、场效应管和太阳能电池等在制造过程中需要PECVD工艺进行薄膜沉积。通过PECVD工艺可以控制薄膜的物理和化学特性,从而优化器件的性能。
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