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2020年11月30日 · 本专利由中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请,2021-04-02公开,本发明提供一种硅异质结太阳电池的制备工艺,包括:步骤101:硅片清洗;步骤102:非晶硅沉积;步骤103:TCO薄膜沉积;步骤104:丝网印刷;步骤105:丝网印刷后退火;还包括在
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